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等離子體滲氮結合PVD
等離子體滲氮是在真空腔室內形成等離子體並通入氮氣,氮氣擴散到工件表面。

什麽是等離子體滲氮(與PVD相結合)?

       等离子体渗氮是在真空腔室内形成等离子体并通入氮气,氮气扩散到工件表面,这样使得钢材表面得到硬化(硬度不超过1000HV)、延长使用寿命和提高抗疲劳能力。汇成真空可以将这两种表面处理技术混合使用在一台设备中,也叫做双重表面处理。在汇成真空天堂亚洲的设备中,通过降低气压,大约~10-2 mbar ,减少氮气原子的数量,以防止出现白亮层,白亮层会降低PVD涂层结合力,同时,PVD涂层进一步提高了表面硬度(可以达到7000HV),等离子渗氮结合PVD涂层通常应用在如冲孔和挤压模具上。

       进行PVD 硬涂层之前,我们可以进行一次等离子渗氮工艺,这可以优化工具或零件的强度,而不影响基体材料的表面硬度和化学特性,等离子渗氮是一种典型的热化学表面处理,PVD 和等离子渗氮相结合,允许使用回火和较低硬度钢进行工具制造,由于有多种可应用的涂层类型,且能够在 180 °C 左右的温度进行涂层,附加的 PVD 工艺提供了很大的灵活性,组合工艺中硬化的表面层可以提供更好的支持。

等離子體滲氮結合PVD示意图